工業(yè)氣體凈化設(shè)備是保障高純氣體、工藝氣體及壓縮空氣潔凈度的關(guān)鍵裝備,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、生物醫(yī)藥、食品飲料、激光加工及精密焊接等領(lǐng)域。其通過多級過濾與吸附技術(shù),有效去除氣體中的顆粒物、水分、油霧、有機(jī)物及有害雜質(zhì),確保終端用氣達(dá)到ppb級純度要求。設(shè)備性能高度依賴各功能模塊的協(xié)同運(yùn)作,深入理解
工業(yè)氣體凈化設(shè)備各組成部件特點,是選型、運(yùn)維與效能優(yōu)化的基礎(chǔ)。

一、預(yù)過濾單元
通常采用5–40μm精度的纖維或燒結(jié)金屬濾芯,用于去除大顆粒粉塵、液態(tài)水滴及油霧,保護(hù)后級精密元件。具備壓差指示器,當(dāng)阻力升高至設(shè)定值(如0.1MPa)時提示更換,避免堵塞影響流量。
二、深度干燥模塊
冷凍式干燥機(jī):適用于露點要求不高的場合(+3℃至+10℃),通過制冷降溫使水蒸氣冷凝排出;
吸附式干燥機(jī)(主流):采用雙塔結(jié)構(gòu),填充活性氧化鋁或分子篩,通過變壓(PSA)或變溫(TSA)再生,可將壓力露點降至-40℃、-70℃甚至-100℃,滿足高純工藝需求。
三、精過濾與除油單元
超高效凝聚式過濾器:精度達(dá)0.01μm,去除氣溶膠態(tài)油霧和微粒,殘余油含量可低至0.001mg/m3;
活性炭吸附層:專用于脫除VOCs、異味及有機(jī)蒸汽,常置于干燥后段,防止水分飽和影響吸附效率。
四、催化/化學(xué)凈化模塊
針對特定雜質(zhì)設(shè)計:
除氧催化劑(如銅基、鈀基):在H3存在下將O3轉(zhuǎn)化為H3O,再由分子篩吸附;
除烴凈化器:高溫催化氧化將CH3等碳?xì)浠衔镛D(zhuǎn)化為CO3和H3O;
酸性氣體吸附柱:填充堿性分子篩或氧化鈣,去除CO3、H3S等。
五、智能控制系統(tǒng)
實時監(jiān)測進(jìn)出口壓力、露點、壓差及再生狀態(tài);
自動切換干燥塔、觸發(fā)報警(如濾芯堵塞、露點超標(biāo));
支持遠(yuǎn)程通信(Modbus、4G),接入工廠能源管理系統(tǒng)。