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帶您深入理解工業(yè)氣體凈化設(shè)備的各組成部件特點
更新時間：2025-12-02 點擊量：3
工業(yè)氣體凈化設(shè)備是保障高純氣體、工藝氣體及壓縮空氣潔凈度的關(guān)鍵裝備，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、生物醫(yī)藥、食品飲料、激光加工及精密焊接等領(lǐng)域。其通過多級過濾與吸附技術(shù)，有效去除氣體中的顆粒物、水分、油霧、有機(jī)物及有害雜質(zhì)，確保終端用氣達(dá)到ppb級純度要求。設(shè)備性能高度依賴各功能模塊的協(xié)同運(yùn)作，深入理解工業(yè)氣體凈化設(shè)備各組成部件特點，是選型、運(yùn)維與效能優(yōu)化的基礎(chǔ)。
一、預(yù)過濾單元
通常采用5–40μm精度的纖維或燒結(jié)金屬濾芯，用于去除大顆粒粉塵、液態(tài)水滴及油霧，保護(hù)后級精密元件。具備壓差指示器，當(dāng)阻力升高至設(shè)定值（如0.1MPa）時提示更換，避免堵塞影響流量。
二、深度干燥模塊
冷凍式干燥機(jī)：適用于露點要求不高的場合（+3℃至+10℃），通過制冷降溫使水蒸氣冷凝排出；
吸附式干燥機(jī)（主流）：采用雙塔結(jié)構(gòu)，填充活性氧化鋁或分子篩，通過變壓（PSA）或變溫（TSA）再生，可將壓力露點降至-40℃、-70℃甚至-100℃，滿足高純工藝需求。
三、精過濾與除油單元
超高效凝聚式過濾器：精度達(dá)0.01μm，去除氣溶膠態(tài)油霧和微粒，殘余油含量可低至0.001mg/m3；
活性炭吸附層：專用于脫除VOCs、異味及有機(jī)蒸汽，常置于干燥后段，防止水分飽和影響吸附效率。
四、催化/化學(xué)凈化模塊
針對特定雜質(zhì)設(shè)計：
除氧催化劑（如銅基、鈀基）：在H3存在下將O3轉(zhuǎn)化為H3O，再由分子篩吸附；
除烴凈化器：高溫催化氧化將CH3等碳?xì)浠衔镛D(zhuǎn)化為CO3和H3O；
酸性氣體吸附柱：填充堿性分子篩或氧化鈣，去除CO3、H3S等。
五、智能控制系統(tǒng)
實時監(jiān)測進(jìn)出口壓力、露點、壓差及再生狀態(tài)；
自動切換干燥塔、觸發(fā)報警（如濾芯堵塞、露點超標(biāo)）；
支持遠(yuǎn)程通信（Modbus、4G），接入工廠能源管理系統(tǒng)。
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